I det gule alarmområde på halvlederfabrikken transporterer sølvpumpehuset stille og roligt den gennemsigtige væske -, det vil sige, at selv guldet kan opløses flussyre. Ti år, dette centrale medium til ætsning chips på grund af den ætsende karakter af den stærke, bliver transportbånd udstyr, "industri terminator", indtil den nye mekaniske membran målepumpe til at bringe et banebrydende revolution.
Flussyre kan trænge igennem de fleste metaller og gummi, traditionelle pumper og ventiler køres ofte i nogle timer for at blive korroderet. Endnu mere dødbringende er mikro-lækagen: usynlig lækage af dampe kan lydløst erodere udstyrets skelet. En wafer fab har været på grund af ventil tætning fejl, hvilket resulterer i tredive millioner dollars værd af fotolitografi maskine interne kredsløb er sur tåge langsomt hule, tre måneder efter maskinen pludselig lammet.
Kernen i den mekaniske membranpumpe ligger i den subtile kombination af keramiske og kompositmaterialer:
- Nano-keramisk spolehårdhed er næst efter diamant og modstår sur udvaskning
- 0.08mm forbedret teflonmembran danner et fysisk isoleringslag.
- Intelligent trykkompensationssystem afbalancerer trykforskellen mellem inde og ude i kammeret i realtid
Kontinuerlig transport af 40% koncentration af flussyre i 12.000 timer, opretholdes flowhastighedsnøjagtigheden inden for ±1%. Scannet af en laserdetektor er nøgleforseglingens overfladeslid kun 0,3 mikron - svarende til 1/200 af et menneskehår, mens pumpen i den simulerede katastrofale test automatisk udløser en tre--trins lockout, når forseglingen ødelægges af mennesker, og lækagen kontrolleres ved 1% af sikkerheden i timen, hvilket kun er standarden 0,001 ml pr. time.
Med udvidelsen af den globale halvlederproduktionskapacitet (markedsstørrelsen forventes at nå 400 milliarder dollars i 2025) og eksplosionen af den nye energiindustri vokser markedet for flussyrepumper med en gennemsnitlig årlig hastighed på 12 %. Mekaniske membranpumper er blevet inkluderet i SEMI's International Semiconductor Equipment Standard Recommended List på grund af deres nul-lækagekarakteristika, hvor lokaliseringshastigheden stiger fra 30 % i 2020 til 50 % i 2025. Jo mere-risikoen, der rækker, er, at den miljøvenlige membranteknologi reducerer den mekaniske transport af vandpumpeteknologi. 90 %, og efter påføringen i en kemikaliepark faldt fluoridkoncentrationen i den omgivende jord med 47 %, hvilket resulterede i en win-win-situation med økonomiske fordele og økologisk beskyttelse.
Når flussyre strømmer præcist i det forseglede kammer, beskytter den mekaniske membranpumpe livsnerven i den moderne elektronikindustri med forsvar på nanoskala. Som R&D-teamet sagde, "essensen af denne tætningsrevolution er at tæmme dødelige farer til kontrollerbar produktivitet - på mikroslagmarken, nul lækage er den højeste retfærdighed."
